方案概述
制絨刻蝕上下料機是對要經(jīng)過制絨工藝的硅片進行上下轉(zhuǎn)移的裝置。
禾川方案
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裝卸一體
將花籃里硅片搬運輸送上料到制絨/刻蝕工藝主機；將經(jīng)刻蝕或制絨工藝后的硅片轉(zhuǎn)移裝入到硅片花籃
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高可靠性
通過X3EB EtherCat伺服，運行動作高速輕柔，實現(xiàn)高精度定位
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